硅基MEMS谐振器：微尺寸实现高精度

eric2013

https://spectrum.ieee.org/silicon-clock

目前，石英晶体振荡器是电子设备中最常见的时钟源之一，以其低廉的成本和紧凑的封装提供相对精准的频率。然而，对于高精度应用场景，原子钟体积过大，无法适配典型的石英温补振荡器（TCXO），甚至石英方案本身也显得臃肿。因此，业界焦点转向开发掺杂硅基MEMS方案，旨在实现与顶级补偿石英振荡器相当的低漂移性能。IEEE Spectrum杂志近期就报道了此类突破。

研发的方案在八小时内实现了±250亿分之一（ppb）的稳定度。相比之下，商用TCXO（如Microchip MX-503）的频率稳定度为±30 ppb。