开源亚微米级精度3D运动控制平台

eric2013

https://github.com/0x23/MicroManipulatorStepper

本项目包含一个开源、低成本、易于搭建的电动XYZ微操纵器运动控制平台，可实现亚微米级精度。它专为光学对准、电子元件探针测试和显微镜等应用设计。

得益于其并联运动学结构和微型球形接头，该平台实现了良好的机械刚性和较大的运动范围。所用电机为市售步进电机，由30 kHz闭环控制器和非常精确的PWM信号驱动。通过“磁齿轮”方法，将低成本磁性旋转编码器的分辨率提高了30倍，使步进精度达到50纳米（请注意分辨率与精度的区别，绝对精度要差很多）。

该设备可通过USB串口以简单的G-Code命令进行控制，因此易于集成到其他项目中。固件实现了完整的运动规划系统，并带有前瞻功能以实现路径的平滑和精确跟踪。

动态精度效果：



截图：

5free

这个项目挺好

wingme

我喜歡它。

honami520

最近新工作是做位移传感器，精度也是纳米级别，光学的原理做的。公司项目太大，光学也不懂。
但是这个玩意感觉可以玩玩啊，我来好好研究下

死不低头

honami520 发表于 2025-11-26 10:25
最近新工作是做位移传感器，精度也是纳米级别，光学的原理做的。公司项目太大，光学也不懂。
但是这个玩意 ...

你是不是打错字了，纳米级别精度估计也只有少数光栅尺能做到

honami520

死不低头 发表于 2025-11-26 11:22
你是不是打错字了，纳米级别精度估计也只有少数光栅尺能做到

没有打错字哦，光谱共焦传感器，可以了解一下。可能说的比较夸张，但是几十纳米的精度是要做到的。